我國石刻佛教經典始於北齊。如山西太原風峪的《華嚴經》、山東泰山經石峪的《金剛經》、徂徠山的《般若經》等，都是北齊時代的石刻佛經。北齊的唐邕自天統四年至武平三年（西元五六八～五七二年）在今河北武安縣北響堂山（即石鼓山）刻了《維摩詰經》、《勝鬘經》、《彌勒成佛經》等許多佛教經典，並且留下有名的《鼓山唐邕刻經銘》，歷敘發願刻經的原因，所刻經數及開刻起訖年月。這些石刻佛經，特別是唐邕鐫刻石經的事業對後代佛教徒從事大規模的石刻佛經有很大的影響。
房山石刻佛教大藏經始於隋代，創始人為僧人靜琬。靜琬是北齊時天台宗二祖南岳慧思大師的弟子，他的詳細身世和事跡已不可考，但刻造佛教石經是他一生中最主要的事業，這是可以肯定的。從隋大業中一直到他死時為止，約三十年時間，他的刻造佛教石經事業從未間斷。關於靜琬發起刻造佛教石經的文獻記載，最初見於唐初唐臨所著的《冥報記》中。《記》云：
「幽州沙門釋智苑（按：即靜琬），精練有學識。隋大業中，發心造石經藏之，以備法滅。既而於幽州北山，鑿石為室，即磨四壁而以寫經；又取方石別更磨寫，藏儲室內。每一室滿，即以石塞門，用鐵錮之。時隋煬帝幸涿郡，內史侍郎蕭瑀，皇后之同母弟也，性篤信佛法，以其事白后。后施絹千匹及餘財物以助成之，瑀亦施絹五百匹。朝野聞之，爭共捨施，故苑得遂其功。………苑所造石經已滿七室，以貞觀十三年卒，弟子猶繼其功。」
唐臨《冥報記》著於唐高宗永徽年間，在有關房山石經記事部份之末，唐臨自注說：「殿中丞相李玄獎（一作『奘』）、大理丞采宣明等，皆為臨說云爾。臨以十九年從車駕幽州，問鄉人，亦同云爾。而以軍事不得（往）云。」這是說，唐臨早在長安就從兩位同僚中聽說過幽州釋智苑刻造石經之事。貞觀十九年（西元六四五年）他隨同唐太宗到幽州，問了當地鄉人，也同樣說是如此，只因軍事繁忙，未能親往調查。
又，據《寰宇訪碑錄》著錄，唐元和四年（西元八〇九年），幽州節度使劉濟所撰之《涿鹿山石經堂記》亦記有靜琬創刻石經之事：
「濟封內山川，有涿鹿山石經者，始自北齊。至隋，沙門靜琬，睹層峰靈迹，因發願造十二部石經，至國朝貞觀五年，涅槃經成。」
靜琬為什麼要發願刻造佛教石經呢？佛教自東漢明帝時傳入我國，由於歷代統治者的提倡，至南北朝時期已極為盛行，佛教大小乘經典也大量翻譯過來。隨著佛教的盛行，寺院經濟迅速發展起來，出家僧侶急劇增加。如南朝梁武帝時，尊佛教為國教，僅京都一地就有佛寺五百餘所，僧尼十餘萬；北朝北齊時全境寺院竟達四萬餘所，僧尼三百萬人之多。社會上出現如此眾多的寺院和僧尼，自然就容易引起一部份非佛教信徒的反感甚至反對。因此，一些當政者為了政治和經濟的原因，有時也採取了抵制佛教發展的措施。如北魏太武帝太平真君年間就曾下令誅沙門，毀神像。特別是北周武帝建德年間下令廢佛教，前後三年間，關、隴地區佛法誅除幾盡。建德六年（西元五七七年）武帝滅北齊後，將北齊的所有廟宇，充作王公第宅，命令三百萬僧徒全部還俗。武帝的廢佛運動，對佛教是一次沈重的打擊，佛教史上稱之為「法難」。
北魏太武帝死後，文成帝繼位，立即發出敕令，再興佛教。北周武帝死後，宣帝繼位也立即允許再興佛教。隋滅北周統一南北後，更大力提倡佛教，佛教又重新復興起來。
但是，北魏和北周的廢佛運動，在佛教徒心中還是留下了深刻的印象的。他們顧慮到說不定什麼時候還會出現「法難」，考慮如何來保存佛經的問題。北周廢佛時，許多手寫佛經一時化為灰燼，然而北齊唐邕刻在石上的佛經却依然無恙。唐邕當時刻造石經就是由於「以為縑緗有壞，簡策非久，金牒難求，皮紙易滅，於是發七處之印，開七寶之函，訪蓮華之書，命銀鈎之迹，一音所說，盡勒名山。於鼓山石窟之所，寫《維摩詰經》一部，《勝鬘經》一部……。」（《鼓山唐邕刻經銘》）這給佛教徒以很大的啟發。據劉侗、于奕正的《帝京景物略》說：
「北齊南岳慧思大師，慮東土藏教有毀滅時，發願刻石藏，閟封岩壑中。座下靜琬法師承師咐囑，自隋大業迄唐貞觀《大涅槃經》成。」
關於慧思發願刻石藏，究竟實現了沒有，現已不可知。然而靜琬是繼承其師遺願刻造石藏，至此已十分清楚了。靜琬刻石藏的目的，則正如他自己所說的，並不是為了一時的傳播佛經，而是為了一旦遭到「法難」時，可以此石經充作「經本」之用。如他在貞觀二年（西元六二八年）題刻殘碑上說：「冀於曠□〔刼〕，□□〔濟度〕蒼生，一切道俗」。在貞觀八年（西元六三四年）題刻殘碑上說：「此經為未來佛□〔法〕難時，擬充經本，世若有經，願勿輒開」。又如，在新發現的《涅槃經堂題刻》殘碑上說：「此堂內唯有石涅槃經一部，更無餘物。本為未來懸遠無佛法時，留為□〔經〕本，開生□〔慧〕目，靜琬□頭，願□□〔盡未〕來」，等等。
從靜琬發願刻造到明末止，房山石經的歷史，大體上可以分為四個時期。清代康熙以後雖然幾次修葺雲居寺，也刻了一些經碑立於寺中，但已失去石經原來錮藏以備法滅時充經本用的意義了。