第一個時期——隋唐
這一時期又可分為幾個階段，首先是隋大業中至唐初，靜琬及其弟子玄導刻經時期。如上所述，靜琬自隋大業中發願刻造石藏是得到隋煬帝皇后蕭氏及其弟蕭瑀的大力施助的；但從現存石經及題刻中，自隋大業至唐武德之終的二十年間，未見任何題記，可能是準備時期。靜琬發願刻造石經是有計劃進行的。他在貞觀二年（西元六二八年）題刻中說：「靜琬為護正法，……就此山頂刊《華嚴經》等一十二部。」可見他原計劃要刻十二部佛經，《華嚴經》就是他最初刊刻的一部。又，劉濟《涿鹿山石經堂記》說：「至國朝貞觀五年《涅槃經》成」，靜琬《涅槃經堂題刻》也證實了這一事實，可見《涅槃經》也是他最初刊刻的一部經。此外，現存雷音洞（即第五洞，又稱石經堂或華嚴堂）中的《法華經》、《勝鬘經》等，歷來認為是靜琬時所刻之石經，如清查禮的《游𢘿題（𢘿、古莎字）、上方二山日札》中說：「石經洞寬廣如殿，中供石佛，四壁皆碑石疊砌，即隋靜琬法師所刻佛經也。字畫端好，有歐褚楷法，無一筆殘缺。」靜琬最初發願要刻的十二部經具體經名沒有寫明，已無法考查。然就現存可認為是靜琬刻造的石經，主要有：《法華經》、《華嚴經》（晉譯）、《涅槃經》、《維摩經》、《勝鬘經》、《金剛經》、《佛遺教經》、《無量義經》、《彌勒上生經》等。
靜琬于貞觀十三年（西元六三九年）入寂，繼其刻造石經事業者，據遼代趙遵仁撰《續鐫成四大部經記》說：
「（靜琬）以唐貞觀十三年奄化歸真，門人導公繼焉；導公沒，有儀公繼焉；儀公沒，有暹公繼焉；暹公沒，有法公繼焉。自琬至法，凡五代焉，不絕其志。」
關於靜琬的這些後繼者，佛教史籍從未見記載，只是從石經山的一些題刻中弄清了他們的一些主要事迹，至於僧儀的事迹，甚至他的全名是什麼，至今尚未發現任何記載。
直接繼承靜琬刻造石經事業的是玄導。從保存在雷音洞門楣上的唐總章二年（西元六六九年）玄導題刻的殘碑看，玄導繼承靜琬刻造石經事業也是很有計劃的，而且刊刻了許多佛經。題刻云：
「……玄導……夙廁緇林……先師遺訓，於此山峰□□□、楞伽、思益、佛地四部經律……願雲居□□□，群萌助施，修營……。」
由此可見，玄導承其先師遺訓續刻了《大品般若經》、《楞伽阿跋多羅寶經》、《思益梵天所問經》、《佛地經》四部。同時，刻有玄導題記的經碑尚有：《勝天王般若經》、《大乘大集地藏十輪經》、《僧羯磨經》、《比丘尼羯磨經》、《佛說四分戒本》、《比丘戒本》、《比丘尼戒》、《四分大尼戒本》、《菩薩受戒法羯磨文》等。其他刻有玄導時期年月題記的經碑有：顯慶六年（西元六六一年）的《心經》，麟德二年（西元六六五年）的《四分戒本》和咸亨二年（西元六七一年）的《佛說造立形象福報經》等。此外，玄奘譯的《說無垢稱經》和《解深密經》，雖未見題記，從字迹上看與玄導所刻諸經極為類似，很可能也是玄導時所刻。
玄導的後繼者僧儀，如上所述其事迹至今不明。僧儀所處時期，可能正當武周當政。從鐫刻石經的資料來看，武周當政時期房山石經雖然繼續鐫造，但未見刊造大部頭的佛經。現存的有垂拱元年（西元六八五年）龐德相造的《金剛經》，天授三年（西元六九二年）劉行舉造的《佛說當來變經》、《施食獲五福報經》，長壽三年（西元六九四年）沙門正智造的《彌勒下生成佛經》和張任德造的《觀彌勒上生兜率經》，長安四年（西元七〇四年）湯懷玉造的《金剛經》及《普門品》。此外還有宋小兒造的《金剛經》碑等。
其次，為盛唐開元天寶之間，惠暹和玄法主持刻造石經事業的時期。這一時期可以說是房山石經的全盛時期。據通常稱為「金仙公主塔」上所保留的開元九年（西元七二一年）釋玄英所撰的《雲居石經山頂石浮圖銘》記載，惠暹是當時雲居寺的「都檢校」「上座」（寺中地位最高者），玄法是「律師僧」，而同塔背面開元二十八年（西元七四〇年）王守泰所撰《山頂石浮圖後記》中，記述開元十八年（西元七三〇年）金仙公主奏賜經本和施田事，其時惠暹似已入寂，而玄法已升為「都檢校禪師」了。
惠暹和玄法的刻造石經事業，得到了唐玄宗第八妹金仙長公主的大力施助。據上述王守泰撰《山頂石浮圖後記》記載：
「大唐開元十八年，金仙長公主為奏聖上，賜大唐新舊譯經四千餘卷，充幽府范陽縣為石經本。又奏，范陽縣東南五十里，上垡村趙襄子淀中麥田莊，并果園一所，及環山林麓，東接房南嶺，南逼他山，西止白帶山口，北限大山分水界，并永充供給山門所用。又委禪師玄法，歲歲通轉一切經，上延寶曆，永福慈王，下引懷生，同攀覺樹。」
《後記》同時還載明了當時負責送這些經本的人是長安崇福寺沙門，著名的《開元釋教錄》著者智昇。由此可見，金仙長公主當時對房山雲居寺石經事業的施助，不僅送來四千多卷經本，而且劃出大片田園山林作為刻造石經的經費。因此惠暹和玄法才有條件刻造幾部大部頭的佛經。同時由於雷音洞及其左右各洞已放滿石經，於是惠暹和玄法又在雷音洞下開鑿新堂二口（現稱為第一洞、第二洞）。這在新發現的《大唐雲居寺石經堂碑》殘石中已得到明證。碑記云：
「初此堂之經營也，綿乎十紀，作者三人。刻貫花之言，日不暇給。……有上座暹公者，……乃購倕石，執堅鋼，□峭巘，填深陴，……於舊堂之下，更造新堂兩口。其始皆削青壁，不騫不崩，……歲聿雲暮者五之。……有靜流、玄法二上座者，非暹公之徒歟？……克纂前修，咸熙至願。」
就石經貯藏情況看，惠暹、玄法時期所刻造的佛經也均藏在第一洞和第二洞內。現存石經中，屬於惠暹、玄法時期刻造的主要有：開元十年（西元七二二年），幽州良鄉縣仇二娘造的《藥師經》一卷，為范陽縣進士陽子推所書，字畫端好，是盛唐時期很寶貴的遺物。開元十一年（西元七二三年）幽州總管梁踐惁刻的《佛說恒水流樹經》、《佛說摩達國王經》。新經堂造成後，惠暹似即開始刻造大部頭的《正法念經》七十卷，此經始刻於開元初年，刻成於開元十七年（西元七二九年）。繼之又刻《大方等大集經》三十卷，刻成於開元二十九年（西元七四一年）。玄法時期最值得提出的是開始刻造玄奘譯的巨部佛經《大般若經》六百卷。這部佛經，計刻石一千五百十二條，是石經中卷數最多的一部。這部石經從玄法時開始刻造，一直續刻到遼代才全部完成。從刻石題記看，現存第二十一條（卷九）刻於天寶元年（西元七四二年），因此推想它的刻造，可能開始於開元末年。就可見的題記所載，至天寶十三年（西元七五三年），刻至第一百六十三卷。此外，開元末年刻造的《佛頂尊勝陀羅尼經》一卷，以及現存第二洞的《大集經日藏分》和《月藏分》，從字迹上看也都是這一時期所刻之石經。
再次，為晚唐時期，其中以貞元至元和期間，雲居寺住持律僧真性，得到幽州地方上，特別是幽州節度使劉濟的施助，所刻石經為多。
天寶末，經安史之亂，房山石經的刻造並未停止。從現存《大般若經》第一百九十五卷至二百一十四卷的題記看，有安祿山的「聖武」、史思明的「順天」、史朝義的「顯聖」、朱泚的「應天」等年號，可以為證。其後貞元至元和間，劉濟刻了《法華經》和一部份《大般若經》。據劉濟元和四年（西元八〇九年）撰的《涿鹿山石經堂記》說：
「濟遂以俸錢，奉為聖上（憲宗）刊造《大般若經》，以今年四月功就，親自率勵，與道俗齊會於石經峰下，……會同《華嚴》，……或推之，或挽之，以躋乎上方，緘于石室。」
這裡劉濟說「四月功就」，容易使人誤認為《大般若經》六百卷他已全部刻完。事實上，驗對石經，劉濟所刻的只是從卷三百前後，至卷四百十二止的一百餘卷，而其中還有一些是別人捐助所刻者。刻造時間為貞元五年（西元七八九年）至元和四年（西元八〇九年）。終唐之際，這部《大般若經》約刻造到卷第五百二十左右。
晚唐時期房山雲居寺刻造石經的事業，主要是得到幽州地方上的支持。所以中間雖經唐武宗會昌年間的廢佛運動，雲居寺一度也遭到打擊而衰落，但很快又復甦起來。自大和元年（西元八二七年）至咸通四年（西元八六三年）的三十餘年間，在當地官長楊志誠、史再榮、楊志榮、史元忠、史元寬、張允伸、張允皐等及其親屬們的施助下，先後刻造石經不下百餘卷。但是，這些石經大部份是小部頭經，而且許多是重複的，可見他們刻經並無計劃，只是為了供養祈福而已。不過這些石經中大部份都有年月題記，經碑上下還刻著佛像供養人，為我們研究晚唐石刻藝術提供了豐富資料。
房山雲居寺石經，始於隋末唐初，踵興於盛唐，至唐末而衰落，經五代戰亂，遂陷於完全停頓的狀態。